79℃沙漠是空调的“禁区”！海尔56℃除菌空调将发起挑战，能行？—万维家电网

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　通政巷大夫第“世遗古城民居门匾展”

　　“书院·书声·书香——泉郡先贤著述读书班”第一课，泉州海交馆馆长林瀚在正音书院讲解《诸蕃志》

　　站在新的起点，《方案》提出，未来五年，鲤城社科工作将重点发展基础与应用学科，产出系列高质量成果，培育一批扎根基层的社科研究与普及人才，系统构建具有鲤城特色的哲学社会科学发展体系，力争到2030年，全面建成与世遗古城地位相匹配、区域影响力显著提升的社科强区。

　　“声音里的世遗·福鲤桐声”首届少儿闽南语歌曲（歌谣）创作大赛颁奖典礼

　　在理论创新引领方面，鲤城将通过深化“两个结合”专项课题研究，依托大中小学思政教育一体化联盟推广特色课程，同时升级“泉腔鲤音”“刺桐博物之城”平台，建设“云上社科馆”，用乡音乡语传播党的创新理论。在机制协同方面，鲤城将建立多界别参与的社科工作机制，深化校地合作，并通过编印《鲤城乡土研学指南》、实施中小学社科素养培育专项行动，推动社科资源向基础教育倾斜。

　　《“乡愁鲤城”方言地名调查白皮书》（江南新区卷）发布会

　　05后李贽“迷妹”谢舒睿在李贽纪念馆作专题分享

　　人才是社科发展的根基。社科人才聚集工程将实施人才“薪火行动”三年计划，重点培育社科骨干，做强文史学会、闽南语研究会等社团矩阵，同时引进乡土文化研究人才，形成“专家审稿+创作者制作”的新型协作机制。学科建设则聚焦优势领域，着力构建李贽思想研究高地，争取承办全国性学术会议，打造独具特色的李贽文化IP；系统推进闽南语活态传承，建设闽南语数字博物馆；开展美食文化研究，为“世界美食之都”注入学术内涵。

　　“世遗古城李贽亲友圈研学”第一期

　　特色研究将向纵深推进，通过地方文化资源普查与数据库建设，实施“名人乡贤足迹”展示工程，打造姓氏文化IP，并以“小切口、深挖掘”的方式开展社区文化研究，让学术研究真正扎根古城街巷。学术交流与社科普及则更加贴近大众，依托古城书院空间活化利用，打造“书院+”品牌，围绕泉州非遗文化、侨批文化、海丝文化、华侨文化、闽台文化等主题，系统开展系列社科普及活动，推出科普读本与乡土教材。

　　第三届“强国复兴有我·以字明志”主题活动颁奖仪式在泉州府文庙举办，学生在现场观看历届“百佳字号”

　　作为闽台交流的前沿，鲤城将打造闽台学术融合工程，以闽南方言、民间信仰为纽带，建立健全两岸学术交流常态化机制，每年举办学术活动与青年学者文化寻根行，以文化认同深化同胞情谊。鲤城还将实施数智赋能社科工程，鲤城社科综合服务云平台、“闽南语地名数字地图”“古城门匾AR导览”等创新应用将陆续上线，让人工智能为文化传承注入科技动能。

　　蓝图已绘就，奋进正当时。鲤城区社科联相关负责人表示，未来将紧扣《方案》工作目标，通过一系列务实举措，推动社科资源下沉一线、服务基层，让社科研究真正扎根古城街巷，为社科强省、文化强市建设提供更鲜活的基层样本。

　　“共享女儿计划”：以互助之力探索农村养老新模式

　　2023年起，在湾沚区陶辛镇沙墩村发起“共享女儿计划”，组织本村留守妇女与独居高龄老人结对，有效盘活农村照护人力资源，通过“一中一老”照护模式，为老人提供日常陪伴、情绪支持与生活协助。该做法被芜湖日报、中国社会报和学习强国专题推介，成为农村互助养老的创新范例。

　　“数字课堂+数字社群”：提升长者数字素养与表达能力

　　2024年起，联合华东师范大学社工团队在开设“老年数字增能课堂”，以“课堂+社群”双线模式帮助长者掌握基础数字技能，逐步实现数字化表达与社会链接，有效打破了老年人“数字壁垒”，为社区治理注入更多“银发声音”。相关经验获新华社、人民网、学习强国等平台推广。

　　“乐龄议事厅”：搭建老年人公共参与平台

　　2025年，推动设立“乐龄议事厅”，常态化开展村庄协商议事，引导老年人围绕环境改造、公共空间使用等议题建言献策、共同决策，真正实现“老有所议、老有所为”。“乐龄共享花园”从村民提议到共建完成，充分体现了长者参与公共事务的治理能力与责任意识。相关实践获《安徽日报》专题报道。

　　“家书计划”：记录生命故事，重建代际链接

　　2025年发起“家书计划”，整合村“两委”、社工、网格员、志愿者等力量，入户开展老人口述史访谈与家庭记忆整理，形成“一家一书”的温情成果。这些“家书”不仅留存了村庄世代记忆，也成为唤醒家庭情感、传承家风家训的重要载体，为柔性乡村治理提供文化支撑。项目获得新华社、人民网、“学习强国”等多家媒体报道。